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荷兰代尔夫特科技大学的研究人员开发出一种方法,用单脉冲激光直接在衬底上将液态硅墨水打印成能用在电路中的多晶硅形式。之前衬底上打印硅墨水需要350摄氏度的温度进行热退火,这对于很多柔性材料来说都太热了。新方法完全可以绕过这一步,直接将液态硅转化成多晶硅。他们的成果发布在《应用物理快报》上。
“实际上非常简单。”领导这项研究的教授石原慎太郎说,“通过直接在富氧环境中将纸张刮涂液态聚硅烷,然后用准分子激光对涂层直接退火。”激光只持续十几纳秒,几乎不会对纸张本身产生什么影响。在测试导电性能的时候,石原慎太郎和同事发现,用激光打印的薄膜晶体管比传统多晶硅导体更具有灵活机动性。
由于快速、灵活的低功率晶体管生产成本非常低,所以这项成果最直接的应用是在可穿戴电子设备上。石原慎太郎认为,未来对提高包括非硅层在内的薄膜晶体管生产工艺的进一步研究将更具应用价值。“这一生产工艺可以扩大应用到生物医学传感器和太阳能电池领域,以及可拉伸、甚至可食用的电子产品中。”
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