Marsh教授作报告

11月23日，英国哥拉斯格大学工学院院长、国际著名光电子学家John Marsh教授应邀来中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所访问，并作了题为“集成半导体光电子学”的学术报告。所内相关科研人员和研究生，以及所外的同行参加报告会。

Marsh教授是光子集成技术的先驱，他发明了多项实现量子阱混杂(Quantum well intermixing: QWI)的工艺技术用于调控半导体材料的能带宽度，从而实现将不同功能的光子器件集成在单一芯片上。实现光子集成的最大困难是如何能够按照器件的要求在在晶片的不同位置精确地控制半导体材料的能带宽度。为此，过去20多年来国际上发展了三种技术，即外延层再生长，外延层选择性生长以及量子阱混杂技术。与其它两种技术不同，量子阱混杂技术又称量子阱失序技术是一种材料生长后的后处理工艺，因而成本低，灵活适合于工业化生产。

在讲座中，Marsh教授首先介绍了量子阱混杂技术，随后详细展示了量子阱混杂技术在器件集成方面的一些应用，包括：用量子阱混杂技术实现无吸收腔面，从而大大改善高功率半导体激光的可靠性；频率达THZ锁模激光；光的偏振控制等内容。报告结束后， Marsh教授与大家进行了交流讨论。

Marsh教授是英国皇家工程院院士，皇家学会爱丁堡会士，以及IEEE、英国工程与技术协会、英国物理学会会士。在他30多年的学术生涯里，共发表了480多篇学术论文以及诸多专利。